芯片生產(chǎn)環(huán)境潔凈度高,清洗用水竟然使用超純水系統(tǒng)制備
芯片主要發(fā)展始于上世紀(jì)50年代末期,一款芯片的誕生無論是從原材料還是中間經(jīng)過的上百道工序,都需要非常精心。如今我國技術(shù)的不斷發(fā)展與進(jìn)步,芯片的集成度和性能也在不斷地提高,我國芯片市場需求也是暴漲,因此相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展也隨之帶動(dòng)起來。
為了保證生產(chǎn)芯片的純凈度,清洗水也需要使用高純度的超純水。制備超純水必須嚴(yán)格按照國家標(biāo)準(zhǔn)來生產(chǎn),這是為了保證在芯片生產(chǎn)過程中,不會(huì)產(chǎn)生多余的雜質(zhì)影響芯片品質(zhì)。
該超純水系統(tǒng)主要是通常是自來水進(jìn)入原水箱,通過原水泵增壓,經(jīng)砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器,到達(dá)反滲透單元,雙級(jí)反滲透系統(tǒng)產(chǎn)水進(jìn)入EDI單元后經(jīng)拋光混床單元得到電阻率18MΩ·cm(25℃)的超純水,這樣的水質(zhì)就可供芯片生產(chǎn)使用了。
該系統(tǒng)應(yīng)用的是優(yōu)質(zhì)膜元件,既能夠可去除水中的導(dǎo)電介質(zhì),又能夠?qū)⑺胁蝗芙獾哪z體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水,生產(chǎn)的超純水具有純度高,無病毒和細(xì)菌,不含任何懸浮物、無化學(xué)污染等優(yōu)點(diǎn),并且系統(tǒng)還能實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行,無需專業(yè)看守也可正常產(chǎn)水,水質(zhì)穩(wěn)定有保障。還有一點(diǎn)便是,芯片生產(chǎn)中使用的超純水系統(tǒng)內(nèi)部還安置的反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),從根本上保障了超純水出水水質(zhì),不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染,對(duì)于保護(hù)環(huán)境來說有著重要的意義。
以上,關(guān)于超純水系統(tǒng)的介紹就到這里。超純水系統(tǒng)的應(yīng)用幫助了芯片產(chǎn)品優(yōu)質(zhì)地生產(chǎn)出來。并且在可滿足芯片生產(chǎn)用水的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)后,還可幫助企業(yè)降低生產(chǎn)的風(fēng)險(xiǎn)和成本。
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